فهرس المقالات Microelectromechanical Systems حرية الوصول المقاله صفحة الملخص نص كامل 1 - Micro Electropolishing of the MEMS Metallic Structures Fabricated by the Micro WEDM Process Mohammad Tahmasebipour Younes Tahmasebipour Mahya Boujari Aliabadi Shadi Ebrahimi 10.30486/admt.2022.1928592.1277 حرية الوصول المقاله صفحة الملخص نص كامل 2 - Design and Simulation of a Dual-Mode Resonant Temperature sensor Based on MEMS Technology Elham Farzanegan Farshad Babazadeh حرية الوصول المقاله صفحة الملخص نص كامل 3 - Design and simulation of a fast SAW waveguide with Comsol software Hadi Amos Majid Ghandchi