فهرست مقالات سیستم میکروالکترومکانیکی (MEMS) دسترسی آزاد مقاله صفحه چکیده متن کامل 1 - بررسی تاثیر ضخامت و فشار در دیافراگم های میکرو الکترو مکانیکی در میزان جابجائی در کاربردهای پزشکی نازلی زرگرپورفردین